超精密加工就是在超精密机床设备上，利用零件与刀具之间产生的具有严格的约束的相对运动，对材料进行微量切削，以获得极高形状精度和表面光洁度的加工过程。本文要讲的是精密轴承超精的过程。

（1）精密轴承的切削磨石表面与粗糙滚道表面的凸峰相接触时，由于接触面积较小，单位面积上的受力较大，在一定压力作用下，磨石首先受到精密轴承工件的“反切削”作用，使磨石表面的部分磨粒脱落和碎裂，露出一些新的锋利的磨粒和刃边。同时，精密轴承工件的表面凸峰受到快速切削，通过切削与反切削的作用除去精密轴承工件表面上的凸峰和磨削变质层。这一阶段被称为切削阶段，在这个阶段切除了大部分的金属余量。

（2）精密轴承的半切削随着加工的继续进行，精密轴承工件表面逐渐被磨平。这时，磨石与工件表面接触面积增加，单位面积上的压力降低，切削深度减小，切削能力减弱。同时，磨石表面的气孔被堵塞，磨石处于半切削状态。这一阶段被称为精密轴承精加工的半切削阶段，在半切削阶段精密轴承工件表面切削痕迹变浅，并出现较暗的光泽。

（3）光整阶段这个阶段可分为二步：一是研磨过渡阶段；二是停止切削后的研磨阶段研磨过渡阶段：磨粒自锐减少，磨粒刃棱被磨平，切屑氧化物开始嵌入油石空隙，磨粒粉末堵塞油石气孔，使磨粒只能微弱切削，伴有挤压和研光作用，这时工件表面粗糙度很快降低，油石表面有黑色切屑氧化物附着。停止切削研磨阶段：油石和工件相互摩擦已很光滑，接触面积大大增加，压强下降，磨粒已不能穿破油膜与工件接触，当支承面的油膜压力与油石压力相平衡时，油石被浮起。其间形成油膜，这时已不起切削作用。这个阶段为超精加工所特有的。

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